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<p>● 盒式对盒式集簇式真空传输系统</p><p>● 双真空升降平台</p><p>● 六边形真空传输腔，最多支持4个工艺腔</p><p>● 高可靠真空机械手</p><p>● 晶圆自校准及晶圆扫描</p><p>● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统</p><p>● 适合大规模量产</p>
