微芸深硅等离子体刻蚀机(DSE)是一款针对先进特色工艺节点应用的大规模量产型设备，其卓越性能亦可在各大高校及科研机构展示其科研属性。
设备8英寸向下兼容，适用于Bosch刻蚀工艺类需求。针对Bosch工艺的特点优化了刻蚀设备控制系统，采用快速响应硬件及软件配置，结合中心/边缘双路进气设计，具有较大的工艺窗口、高深宽比、高选择比以及良好的侧壁形貌和垂直度控制。
专业机械设计与优化的操作软件使该设备操作简便、安全，且设备运行稳定，重复性和均匀性佳。该系统可以根据客户要求灵活选择气体、射频、ESC等各种配置，满足个性化生产与研究需求。
