400A自动传片平台

● 盒式对盒式集簇式真空传输系统，最多支持3个工艺腔。
● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准。通过闸板阀与传输腔室连接，晶圆在卡夹中放置状态自动扫描。
● 在线式晶圆与对准机构，高可靠性真空晶圆传输机械手。
● 传输配置独立的干泵，本底真空≤7.5mTorr。
● 单个VCE单次VCE放片量≤25片