半自动传输平台

● 带有信号反馈和可靠的碰撞保护功能。
● 磁流体中间环节保证腔体内部真空压力与洁净。
● 手动放取物料，边缘定位。
● 运动范围：最大到达距离 310mm(距腔口外侧)。
● 重复精度：±0.2mm。
● 真空度：＜5x10-9 Torr。