600A自动传片平台

● 六边形真空传输腔，最多支持4个工艺腔。
● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准。
● 传输平台系统漏率≤2mTorr/min。
● VCE/TM腔体抽真空到10mTorr≤180s。
● 两个VCE单次VCE放片量≤25片