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CCP干法刻蚀机

CCP干法刻蚀机

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<p>● 6/8英寸兼容</p><p>● 刻蚀形貌好、工艺性能优越</p><p>● 高选择比、高刻蚀速率</p><p>● 低拥有成本和消耗成本</p>
400平台刻蚀系统

CCP干法刻蚀机

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<p>● 盒式对盒式集簇式真空传输系统</p><p>● 正方形真空传输腔，最多支持3个工艺腔</p><p>● 高可靠真空机械手</p><p>● 晶圆自校准及晶圆扫描</p><p>● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统</p><p>● 适合小规模量产</p>

电话：400-883-6891

邮箱：sales@wintechsh.com

地址：上海市浦东新区王桥路689号1幢

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