上海微芸半导体科技有限公司是一家致力于自主研发、生产、服务的第三代半导体设备制造商,产品广泛应用于化合物半导体、MEMS、功率器件等领域。公司始终坚持“质量第一、客户至上”的原则,研发团队成员均来自行业内知名半导体设备厂商,拥有多名博士、硕士、高级工程师等高学历管理和技术人才,通过先进的技术、严格的质量管控,利用在12寸半导体设备研发上的经验,不断创新,致力于为市场提供更高性能、更贴近客户需求的量产设备。
ICP干法刻蚀机
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CCP干法刻蚀机
公司创始人及主要研发人员均来自世界知名半导体设备厂商,具体丰富的经验。
微芸半导体获得碳化硅刻蚀设备重复订单,设备性能满足客户量产要求
微芸科技仅用两年时间就完成了ICP和CCP刻蚀设备的研发,并且获得了重复订单。目前公司在硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、砷化镓、磷化铟等多种材料的刻蚀上都有比较成熟的整套工艺和设备方案。预计将在2024年第一季度完成针对氮化镓材料的原子层刻蚀设备研发。
2024开门红!3家企业获SiC订单
据“诺延资本”消息,微芸科技于近日成功获得国内某碳化硅代工厂批量订单,标志着微芸科技研发生产的碳化硅刻蚀设备在均匀性和一致性方面满足客户量产的需求。