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  • ICP干法刻蚀机

    ICP干法刻蚀机

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  • CCP干法刻蚀机

    CCP干法刻蚀机

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  • 05 2024-02

    微芸半导体获得碳化硅刻蚀设备重复订单,设备性能满足客户量产要求

    微芸科技仅用两年时间就完成了ICP和CCP刻蚀设备的研发,并且获得了重复订单。目前公司在硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、砷化镓、磷化铟等多种材料的刻蚀上都有比较成熟的整套工艺和设备方案。预计将在2024年第一季度完成针对氮化镓材料的原子层刻蚀设备研发。

  • 05 2024-02

    2024开门红!3家企业获SiC订单

    据“诺延资本”消息,微芸科技于近日成功获得国内某碳化硅代工厂批量订单,标志着微芸科技研发生产的碳化硅刻蚀设备在均匀性和一致性方面满足客户量产的需求。