2024年8月16日，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）【简称“国创中心（苏州）”】2024年发展战略研讨会暨第二届专家技术委员会会议在苏州工业园区顺利召开。中国科学院院士、国创中心（苏州）主任郝跃、中国科学院院士江风益、中国工程院院士欧阳晓平、国家自然科学基金委信息科学学部原副主任何杰、苏州工业园区管委会副主任倪乾、苏州工业园区科创委主任潘瑜等出席会议。会议由江苏第三代半导体研究院院长徐科、苏州纳米科技发展有限公司党委书记、董事长张淑梅共同主持。上海微芸半导体科技有限公司受邀参加会议并上台接受授牌。
会议致辞
中国科学院院士、国创中心（苏州）主任郝跃院士致辞。
苏州工业园区管委会副主任倪乾致辞。
联合共建授牌
微芸科技与国创中心（苏州）联合成立“原子层刻蚀工艺验证开发联合实验室”。此次合作不仅彰显了双方在高科技前沿领域的共同追求与卓越实力，更为推动原子层刻蚀技术的进一步发展与应用开辟了新篇章。
会议对16家联合研发共建单位进行授牌。微芸科技创始人作为代表上台接受授牌，标志着微芸科技正式成为国创中心（苏州）的重要合作伙伴。
此次荣获联合研发共建单位授牌，是对公司在第三代半导体领域技术实力和创新能力的高度认可。微芸科技将继续聚焦于ICP、CCP、TSV、ALE等关键设备的研发与应用，致力于技术瓶颈的突破与产业生态的优化。我们也将以此为契机，进一步加强与国创中心（苏州）及业内同仁的合作，共同攻克技术难关，推动第三代半导体产业的高质量发展。
会议期间还举行了项目合作签约、揭榜挂帅指南发布、国创中心（苏州）第二届专家技术委员会聘任、专家研讨会。
