微芸半导体获得碳化硅刻蚀设备重复订单，设备性能满足客户量产要求

　　上海微芸半导体科技有限公司（以下简称“微芸科技”或“公司”）的设备研发、市场营销工作持续推进。近期，公司成功获得国内某碳化硅代工厂批量订单，这一重要里程碑标志着公司研发生产的碳化硅刻蚀设备在均匀性和一致性方面已经基本满足客户量产的需求。

　　微芸科技是一家专注于第三代化合物半导体的半导体设备制造商。公司的研发团队成员均来自行业内知名半导体设备厂商，拥有丰富的半导体刻蚀设备研发经验，通过先进的技术、严格的质量管控，利用在12寸半导体设备研发上的经验，不断创新，致力于为第三代化合物半导体市场提供更高性能、更贴近客户需求的量产设备。

　　微芸科技在硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、砷化镓、磷化铟等多种材料的刻蚀上都有成熟的整套工艺和设备方案。预计将在2024年第一季度完成针对氮化镓材料的原子层刻蚀设备研发。